一种具有滤光冷却功用的水套用曝光机的制作方法

  

一种具有滤光冷却功用的水套用曝光机的制作方法

  本实用新型公开了一种具有滤光冷却功用的水套用曝光机,包含水套,水套的顶部设置有榜首光源设备,水套顶部远离榜首光源设备的一端设置有第二光源设备,榜首光源设备和第二光源设备的底部均设置有弹性架,弹性架的底部贯穿水套并延伸至水套的外部,弹性架的底部固定衔接有相对称的限位板,限位板的底部固定衔接有螺母,螺母的内部螺纹衔接有螺杆,螺杆的一端贯穿水套并延伸至水套的顶部,弹性架的内壁固定衔接有绷簧。本实用新型使其全体处理了板子板厚公役大和解析度之间的对立,在正常出产时,保证曝光作用有用,防止形成批量返工和作废,提高全体的质量和功率处理散射问题,提高解析度,延伸惯例运用的寿命短。

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