金融界2025年7月29日音讯，国家知识产权局信息数据显现，锐立平芯微电子（广州）有限责任公司请求一项名为“一种晶圆曝光办法”的专利，公开号CN120386147A，请求日期为2024年11月。
专利摘要显现，本请求公开了一种晶圆曝光办法，主要是选用曝光机依据该晶圆曝光办法对晶圆进行曝光，曝光时晶圆坐落晶圆载台的承片台上。晶圆曝光办法有：将预设的子程序写入曝光机的履行程序中；在曝光机停机重启后的榜首时刻内调用子程序对承片台上的晶圆进行曝光；在曝光到达榜首时刻后退出子程序，选用履行程序持续对后续晶圆进行曝光。在榜首时刻内，承片台的温度逐步下降至安稳值，子程序包含曝光时刻和扩大倍数补偿量的映射联系。经过在承片台气温改变的榜首时刻内调用子程序供给扩大倍数补偿量，以补偿晶圆由于胀大带来的套刻差错，无需挡控片，提高了机台的使用率，节省了本钱。
天眼查资料显现，锐立平芯微电子（广州）有限责任公司，成立于2022年，坐落广州市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本238888.888889万人民币。经过天眼查大数据分析，锐立平芯微电子（广州）有限责任公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目1次，产业线条，此外企业还具有行政许可11个。
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