光刻机(Mask Aligner) 又叫:掩模对准曝光机,曝光体系,光刻体系等,是制作芯片的中心配备。它选用相似相片冲印的技能,把掩膜版上的精密图形经过光线的曝光印制到硅片上。
出产一台光刻机比造还难,答案是的,在我国一穷二白的时分用算盘都能造出和氢弹,把卫星送上天,现代科技兴旺的今日,咱们造一台光刻机比还难,你要知道现在手机芯片的晶体管到达上百亿个,比方华为的5nm麒麟1020芯片,每平方毫米有1.7亿个晶体管,假设没有光刻机纳米级的精度华为芯片底子没办法出产。
环顾国际能造的国家许多,但能出产高精度EUV光刻机的只要荷兰的一个企业,一台EUV光刻机需求10万个配件,集结了国际尖端科技,只靠一个企业是没办法完结的,还有芯片技能是杂乱的,光刻机仅仅其间一环还需求上下游产业链的支撑。
作为科技霸主的美国为什么不能出产光刻机,而是一个欧洲小国荷兰,1984年ASML(中文名称为:阿斯麦尔)树立,在树立初就遭到了日本芯片巨子尼康和佳能的两层夹攻,由于不被母公司飞利浦注重,职工只能在板房里工作。一出门就能见到这个巨大的垃圾桶。
在坚持了十来年之后命运之神忽然眷顾了此公司,其时的光刻机商场呈现了瓶颈65nm制作工艺迟迟无法经过,其时芯片的开展受阻,阿斯麦抓住机遇,押注中国台湾工程师:林本坚提出的。
以水为介质能够制作滋润式光科技,最高能够出产45nm以下的芯片,经过三年的技能攻关,滋润式光刻机大获成功,这个斗胆的押注也让阿斯麦从商场占有率的25%上升到80%。现在全球芯片厂商高端芯片90%都是阿斯麦出产,台积电和三星每年都为此抢破了头。
美国作为芯片巨子有英特尔,AMD,高通等芯片公司,芯片的重要环节光刻机被一个小国给独占了,美国就没有反击过吗?答案有的,并且成功了,作为国际第一的科技霸主,美国无法忍受,美国从极紫外EUV光刻机下手。
政府和业界树立了EUV联盟由英特尔,AMD,摩托罗拉,IBM等业界巨子,加上两个国家实验室,欧洲30余国也紧跟美国之后,欧美抱团,开展EUV技能,荷兰阿斯麦作为把握光刻机中心技能的企业天然成了欧美自家的小棉袄,出资了德国卡尔蔡司,收买美国Cymer光源,集成国际顶尖科技使得阿斯麦在EUV光刻机的独占位置,美国顺势而为赞同阿斯麦在美国树立工厂和研制中心,以此满意美国芯片公司的产能和需求,EUV光刻机是顶尖科技的结合。已到达了给你图纸也无法仿制的境地。