在半导体的曝光工艺中会用到曝光机，曝光机的许多核心部件在工作中一定要使用冷却水进行冷却，因需要冷却的部件较多，对冷却水的流量又各有要求，因此曝光机都会配置一套冷却水分配系统。现有的冷却水分配系统多是由自来水管搭建，费时费力、占用空间大、调节精度不高，且维修困难。
针对现有曝光机的冷却水分配系统多是由自来水管搭建，费时费力、占用空间大、调节精度不高，且维修困难的技术问题，本实用新型提供了一种曝光机用冷却水分配系统，其便于搭建、结构紧密相连、调节精度高且便于维修。
其技术方案是这样的：一种曝光机用冷却水分配系统，其特征是：其包括歧管块，所述歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，所述总进水通道和所述总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有至少两个与所述总进水通道连通的分出水口，所述分出水口上密封安装有出水调节阀，所述出水调节阀上安装有流量计，所述流量计上安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有数量与所述分出水口一致的且与所述总回水通道连通的分回水口，所述分回水口上密封安装有回水调节阀，所述回水调节阀上安装有快插接头。
所述分出水口与所述出水调节阀之间、所述分回水口与所述回水调节阀之间均通过密封管螺纹连接。
所述歧管块为不锈钢歧管块，所述出水调节阀和所述回水调节阀均为不锈钢球阀。
本实用新型的冷却水分配系统，利用歧管块，使各分出水口与总进水通道连通，各分回水口与总回水通道连通，以此来实现了各路出水和回水的有效集成和优化，结构紧密相连，占用空间小；通过在分出水口上设置出水调节阀和流量计，可以在一定程度上完成各路出水流量的精确调节，使每一路的用水需求都能得到满足，并可实时监控各路水流情况，利于维修时的问题查找；通过在分回水口上设置回水调节阀，能够保证整个回路的流量稳定；快插接头的设置，可使安装搭建极其方便，快速缩短安装时间。
附图标记：1-歧管块；2-总进水通道；3-总回水通道；4-快插接头；5-分出水口；6-密封管螺纹；7-出水调节阀；8-流量计；9-分回水口；10-回水调节阀。
见图1至图5，本实用新型的一种曝光机用冷却水分配系统，其包括歧管块1，歧管块1优选不锈钢歧管块，更加耐用；歧管块1内部分别设有总进水通道2和总回水通道3，总进水通道2和总回水通道3的一端封闭，另一端分别安装有快插接头4；歧管块1上还分别开有至少两个与总进水通道连通的分出水口5，分出水口5上通过密封管螺纹6安装有出水调节阀7，出水调节阀7上通过密封管螺纹6安装安装有流量计8，流量计8为电子式流量计，流量计8上安装有快插接头4；歧管块1上还分别开有数量与分出水口5一致的且与总回水通道3连通的分回水口9，分回水口9上通过密封管螺纹6安装有回水调节阀10，回水调节阀10上安装有快插接头4；其中，分出水口5与分回水口9间隔设置，从而更加便于管回路的安装和布置；本实施例中，分出水口5和分回水口9各设置六个，从而一套分配系统可供曝光机的六个用水回路使用；出水调节阀7和回水调节阀10均为不锈钢球阀，便于流量调节，且耐用；快插接头4可由快拧接头代替，但对于用户来说需要更加多的安装时间。
下面具体描述下采用本实用新型装置分配冷却水的过程：将外部总进水管安装在总进水通道2的快插接头4上，外部总回水管安装在总回水通道3的快插接头4上，根据曝光机需要冷却部件的数量，选择相应数量的冷却管路，管路一端连在流量计8的快插接头4上，另一端连在回水调节阀10的快插接头4上，通过外部总进水管给歧管块1进水，然后根据各部件对冷却水流量的不一样的需求调节分出水口5上的出水调节阀7，使流量计8的读数与需求流量一致，就可以实现各部件冷却水流量的精确调节，冷却水冷却完部件后通过分回水口9进入总回水通道3，由外部总回水管排出。
1.一种曝光机用冷却水分配系统，其特征是：其包括歧管块，所述歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，所述总进水通道和所述总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有至少两个与所述总进水通道连通的分出水口，所述分出水口上密封安装有出水调节阀，所述出水调节阀上安装有流量计，所述流量计上安装有快插接头；所述歧管块上还分别开有数量与所述分出水口一致的且与所述总回水通道连通的分回水口，所述分回水口上密封安装有回水调节阀，所述回水调节阀上安装有快插接头。
2.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征是：所述分出水口与所述分回水口间隔设置。3.依据权利要求1或2所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征是：所述分出水口与所述出水调节阀之间、所述分回水口与所述回水调节阀之间均通过密封管螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征是：所述分出水口的数量为六个。
5.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征是：所述快插接头可由快拧接头代替。
6.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征是：所述流量计为电子式流量计。
7.根据权利要求1所述的一种曝光机用冷却水分配系统，其特征是：所述歧管块为不锈钢歧管块，所述出水调节阀和所述回水调节阀均为不锈钢球阀。
本实用新型提供了一种曝光机用冷却水分配系统，其能解决现有曝光机的冷却水分配系统多是由自来水管搭建，费时费力、占用空间大、调节精度不高，且维修困难的问题。其包括歧管块，歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，总进水通道和总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；歧管块上还分别开有至少两个与总进水通道连通的分出水口，分出水口上密封安装有出水调节阀，出水调节阀上安装有流量计，流量计上安装有快插接头；歧管块上还分别开有数量与分出水口一致的且与总回水通道连通的分回水口，分回水口上密封安装有回水调节阀，回水调节阀上安装有快插接头。